LLNL联合斯坦福突破3D纳米制造瓶颈:金属透镜阵列实现千倍提速,113纳米精度覆盖厘米级区域
LLNL与斯坦福大学在《自然》发表革命性3D纳米制造技术,通过金属透镜阵列将双光子光刻效率提升千倍,实现厘米级区域内12万光束并行写入,精度达113纳米。这项名为“自适应超表面光刻”的技术突破传统拼接限制,可同步制造复杂三维结构,为微流控、量子计算等前沿领域提供产业化解决方案。
01-08 21:09


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