从多组件到一体化:3D打印氧化锆保护帽如何简化半导体激光光学系统
新腾欧洲先进陶瓷公司开发了一种3D打印陶瓷光学保护帽,其集成了用于半导体制造的真空通道。该部件由钇稳定氧化锆制成,通过增材制造将多个功能整合为一个组件,并嵌入精密真空通道,有效防止激光光学元件的颗粒污染。这一设计利用了陶瓷SLA的设计自由度以及氧化锆的耐磨性,提供了一种简化方案,提高了工艺稳定性并降低了半导体生产的复杂性。
07-24 08:33


京公网安备11010802046387号